Эффективные методы очистки
Установка оснащена центрифугой с держателем пластин и вращающимся манипулятором для подачи очищающей жидкости. Он может оснащаться соплом для распыления и соплом для подачи жидкости под высоким давлением, что обеспечивает комплексное решение для высококачественной отмывки широкого спектра различных типов пластин и подложек.
Простота управления
ADT 977 очень проста в управлении. Интуитивно понятное управление легко позволяет оператору задавать желаемую последовательность программы отмывки, скорость вращения центрифуги и продолжительность отмывки. Общее количество хранимых программ отмывки до 8. В установке ведется постоянный мониторинг и отображение параметров процесса, его статуса и времени.
Высокая универсальность ADT 977 поддерживает работу с пластинами диаметром до 300 мм. Под требования заказчика могут быть изготовлены различные рамки и оснастка для фиксации пластин. |
|
Дополнительные опции:
|
Пользовательский интерфейс системы 977 |
Макс. размер изделия |
Ø 200 мм (8”) |
Методы чистки |
Распыление / Под высоким давлением |
Макс. количество программ чистки |
8 |
Диапазон скорости вращения |
200 – 3000 об/мин |
Требования к подключению: |
|
Энергопотребление |
110/220 В 50/60 Гц, однофазная |
Потребляемая мощность |
300 Вт; в режиме ожидания - 50 Вт |
Давление воздуха/азота |
5 бар |
Макс. скорость потока воды |
1000 мл/мин |
Давление воды |
3-5 бар |
Вытяжка |
4250 л/мин (150 CFM) |
Габариты (ШхДхВ) |
410 х 625 х 980 мм |
Вес |
100 кг |
Сравнение характеристик модельного ряда*
WSC- 977 |
WSC- 977LA |
|
Максимальный диаметр пластины, мм |
Ø 200 |
Ø 300 |
Метод очистки |
Струйная очистка / очистка под высоким давлением |
Струйная очистка / очистка под высоким давлением |
Количество сохраняемых программ, шт |
8 |
8 |
Диапазон рабочих частот вращения стола, об/мин |
200–3000 |
200–2500 |
Размеры установки (ШxДxВ), мм |
410 x 625 x 950 |
520 x 809 x 950 |
Примерный вес, кг |
100 |
160 |
* Модификация WCS-977D устанавливается на одну из двух базовых