Эллипсометрия это метод определения показателя преломления и коэффициентов отражения образца при помощи измерения изменения поляризации отраженного поверхностью света. Толщина пленки и оптические константы поглощающего слоя или оксидной пленки на поверхности субстрата могут быть определены с потрясающей чувствительностью.
Традиционная интерференционная спектроскопия использует свет, проходящий через отдельные оптические пути, тогда как эллипсометрия это вариант интерферометрии, который использует два колебательных компонента с одного оптического пути, обеспечивая измерение с высокой точностью и чувствительностью.
Разработанная фирмой JASCO оптическая схема с фотоэластичным модулятором обеспечивает стабильность измерений, одновременно позволяя использовать такие дополнительные преимущества, как высокоскоростное измерение и сканирование по диапазону длин волн.
Оптическая система с фотоэластичным модулятором подвергает образец облучению светом прошедшим через высокоскоростную модулирующую система (50 КГц) и измеряет изменение в поляризации одновременно регистрируя исходный (50 КГц) сигнал и вторичную гармонику (100 КГц) с помощью двухканального усилителя. Специальная запатентованная оптическая система прибора обеспечивает высокую стабильность и устраняет возможные изменения из-за колебаний температуры в помещении.
Компания JASCO разработала специальное программное обеспечение для расчета толщины пленки и оптических констант для каждого из слоев многослойного материала, базирующееся на параметрах эллипсометрических измерений (?, ?)? для данного материала. Модель многослойной пленки с вычислением оптических констант и толщины подбирается с помощью методов минимизации погрешности для измеренных величин.
Измерительная система | Фотоэластичный модулятор с двойным захватом сигнала |
Длина волны | Лазерный источник с длиной волны 650 нм Ксеноновая лампа с монохроматором для диапазона 350 - 800 нм |
Спектральная ширина щели | 1 нм |
Угол падения | В интервале от 45° до 90° (непрерывный интервал) |
Толщина пленки | 1 - 99,999 A |
Время измерения | от 1 мс и более (дополнительно от 20 мкс) |
Диаметр пучка | Показатель преломления: ±0.01 Толщина пленки: ±1 A (±0.1 нм) Коэффициент отражения: ±0.01 Величины при времени измерения 100 мс или более и могут меняться в зависимости от состояния поверхности и качества пленки |
Столик для образца | Стандартный размер образца: от 15 до 150 мм (квадратный или круглый) |
Оптическая система | Механизм переключения оптического пути Поляризатор (призма Рошона), фотоэластичный модулятор (PEM), оптический сервопривод и канал сравнения (призма глана-тейлора, плоское зеркало, и фотоумножитель) |
Отделение образца | Стандартный столик обеспечивает работу с различными углами падения и различными размерами образца. |
Система детектирования | Анализатор (призма глана-тейлора) и фотоумножитель (R928) |