Лазерный интерферометр конструкции Физо используется для надежных измерений в средах, подверженных вибрации. Он обеспечивает быстрые и надежные измерения формы поверхности и метрологии плоскостности оптических компонентов и волнового фронта оптических систем и узлов, таких как окна, зеркала, линзы, призмы и даже прецизионно обработанных металлических и керамических поверхностей.
Горизонтальные лазерные интерферометры представлены моделями с апертурами 100 мм (4 дюйма), 150 мм (6 дюймов) и 200 мм (8 дюймов). Также в данных интерферометрах Физо есть два варианта метрологии в виброопасных средах: Anti-vibration Phase Shifting Mode в виброопасных средах и Dynamic Mode в самых сложных средах. Более того, оснащены камерами с разрешением 4 мегапикселя (HD) и 11,6 мегапикселя (FHD), поддерживаемыми строгими оптическими конструкциями.
Техническая спецификация
Наименование параметра |
4” |
6” |
4” HD |
6” HD |
4” FHD |
6” FHD |
Метод измерения |
Физо |
|||||
Апертура |
101,6 мм |
152,4 мм |
101,6 мм |
152,4 мм |
101,6 мм |
152,4 мм |
Источник света |
Гелий-неоновый лазер (632,8 нм), опционально может быть использован короткий когерентный лазер |
|||||
Камера |
Размер: 1/1.2”, разрешение 1,2 Кх1,2 К |
Размер: 2/3”, разрешение 2 Кх2 К |
Размер: 1.2”, разрешение 3,4 Кх3,4 К |
|||
Пространственное разрешение |
Полноапертурные полосы > 350 пар линий |
Полноапертурные полосы > 450 пар линий |
Полноапертурные полосы > 750 пар линий |
|||
Режим измерения |
Anti-vibration Phase Shifting Mode в и Dynamic Mode |
|||||
RMS простая повторяемость(2δ) |
<λ/10000 |
|||||
RMS повторяемость волнового фронта (2δ) |
<0,6 нм |
|||||
Стабильность в течение 24 часов (2δ) |
<2,2 нм |
|||||
Зум |
(1-6)Х оптический |
(1-50)Х цифровой |
||||
Фазовый сдвиг |
PZT |
|||||
Юстировка |
Две точки в перекрестии, ±3° |
|||||
Диапазон фокусировки зрачка |
±2,5 м |
±5,5 м |
±2,5 м |
±5,5 м |
±2,5 м |
±5,5 м |
Оптическая центральная высота |
108 мм или 220 мм |
|||||
Эталонная плоскость |
Плавленный кварц, PV: <λ/20 |
|||||
Отражающая плоскость |
Стеклокерамика, PV: <λ/20 |
|||||
Эталонная сфера |
Плавленный кварц, PV: <λ/10 и λ/20 как опция |
|||||
Электропитание |
(100-240) В АС, 50/60 Гц |
|||||
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) |
704х330х460 мм |
844х386х488 мм |
704х330х460 мм |
844х386х488 мм |
704х330х460 мм |
844х386х488 мм |
Вес |
40 кг |
50 кг |
40 кг |
50 кг |
40 кг |
50 кг |
Температура эксплуатации |
(15-30) 0С |
|||||
Скорость изменения температуры |
<1.0°C/30 мин |
|||||
Влажность |
<70% |
|||||
Вибрационная изоляция |
Рекомендуемая воздушная плавающая платформа |